Пленки являлись одним из первых объектов, получаемых золь-гель методом [1–3]. Их применение по-прежнему актуально и востребовано в микроэлектронике в качестве источников диффузантов в кремний и другие материалы электронной техники при формировании p-n–переходов и стоп-слоев. Использование диффузии из пленок наиболее эффективно, когда ставится задача формирования глубоких (~ 3÷10 мкм) разделительных p- и p+- слоев в кремнии, в том числе для формирования стоп-слоев в цикле анизотропного травления тонкостенных мембран для сенсоров, датчиков влажности, давления газа, расхода топлива, при создании кремниевых солнечных элементов и др. [4–6].
Золь-гель метод является одним из современных способов, позволяющих создавать источники диффузии для получения малодефектных диффузионных слоев, в том числе легированных редкоземельными элементами, введение которых другими методами затруднительно или невозможно [7–16]. Введение редкоземельного элемента гадолиния призвано уменьшить искажение кристаллической решетки полупроводника [4, 5, 17], повысив тем самым механическую прочность формируемой мембраны.
Для повышения воспроизводимости толщины формируемой кремниевой мембраны и обеспечения гладкости ее поверхности используют прием так называемого «стоп-слоя». Стоп-слои — это специально формируемые в кремнии области, концентрация легирующего элемента (например, бора) в которых должна быть не менее 1018÷1019 атомов/см3 [5, 11]. Когда селективный травитель достигает этой высоколегированной области, скорость травления резко замедляется, тем самым обеспечивается требуемая толщина формируемой мембраны.
Чтобы достигнуть высокой концентрации легирующей примеси, необходимо использовать пленки, с высоким содержанием бора ~ 40 мас. % B2O3 (в пересчете на оксид в силикатной пленке). При этом очень важно, чтобы пленки не обеднялись и оставались постоянным источником легирующей примеси в течение всего процесса диффузии. Для обеспечения этих требований, мы разработали новые гибридные золи, содержащие органические добавки (высокомолекулярные олигомеры линейного и разветвленного строения) [18–22].
Создание гибридных золей позволило увеличить толщину формируемых пленок до максимально возможной для таких высоколегированных покрытий (~ 150–180 нм) и воспроизводимо получать в кремнии слои глубиной ~ 2.5–3.5 мкм с концентрацией бора ≥ 5∙1020 см-3 [21–25].
Используя традиционные в микроэлектронике методы определения концентрации легирующей примеси в объеме образца, а также метод вторичной ионной масс-спектрометрии (ВИМС), нами были определены диффузионные характеристики золь-гель гибридных и силикатных пленок, содержащих бор и гадолиний [22, 23, 26–28]. Однако обычно используемый алгоритм расчета поверхностной концентрацииикоэффициентов диффузии, основанный на применении законов Фика и распределения Гаусса [4, 5, 11], применим только для раздельного определения этих параметров — для каждой из примесей в отдельности. В то же время данные распределения примесей в кремнии, полученные по методу ВИМС, указывали на несомненное влияние на параметры диффузии не только каждого легирующего элемента, но органической составляющей используемых пленок [23–25, 27, 28]. Поэтому представляло интерес определить параметры полупроводниковых структур, полученных диффузией B и Gd из гибридных пленок для каждого из возможных механизмов диффузии и определить наиболее вероятный из них.
Данная работа продолжает и развивает принятые в ИХС РАН методы и подходы [1, 2, 7, 14, 21, 25], в первую очередь в части разработки гибридных органо-неорганических материалов для микроэлектроники. Вопросы создания гибридных органо-неорганических материалов из многокомпонентных золей на основе тетраэтоксисилана с высоким содержанием неорганических соединений и модифицированных органическими компонентами в настоящее время остаются интересными для изучения [13, 15]. Разработка таких золь-гель систем позволяет существенно улучшить ряд физико-химических и электрофизических параметров получаемых пленок и диффузионных слоев, сформированных в кремнии с их помощью (состав, структура, состояние поверхности, толщина, диффузионные характеристики).
Целью данной работыявляется разработка золь-гель технологии получения новых гадолиний– и боросиликатных наноразмерных пленок — источников реакционной диффузии в кремний для воспроизводимого получения диффузионных слоев с концентрацией примеси бора ~ 5–7·1020 см-3.
Для достижения поставленной цели необходимо было решить следующие задачи:
1. Научно обосновать выбор органического модификатора (низко- и высокомолекулярные полиолы различной топологии и молекулярной массы), совместимого с высоколегированным борсодержащим золем на основе гидролизованного ТЭОС. Разработать составы гибридных органо-неорганических золей на основе ТЭОС с высоким содержанием двух легирующих примесей бора и гадолиния для получения пленок — источников диффузантов.
2. Исследовать особенности структурирования, гелеобразования и пленкообразования в полученных золь-гель системах, в частности выявить закономерности протекания физико-химических процессов, происходящих во время нанесения и термообработки гадолиний- и борсодержащих силикатных и гибридных пленок.
3. Разработать технологию получения высоколегированных боросиликатных гибридных пленок большей толщины, отвечающих требованиям к источникам диффузии, используемым в полупроводниковой микроэлектронике.
4. Создать источники реакционной диффузии бора и гадолиния с целью формирования диффузионных слоев с требуемыми параметрами (глубина диффузионного слоя 3,5±0,5 мкм, максимально возможная поверхностная концентрация легирующей примеси бора ≥ 5·1020 см-3).
Методы и подходы реализации эксперимента. Необходимость введения в золи больших количеств легирующих примесей — борной кислоты и нитрата гадолиния, с целью получить источники диффузии B и Gd максимальной мощности, привела нас к идее использования органических веществ, повышающих растворимость и обеспечивающих агрегативную и кинетическую устойчивость золь-гель систем. Для этого были апробированы хорошо растворимые в гомогенной среде золей полиолы различной молекулярной массы и топологии [10, 21, 25, 26, 29].
Модифицируя золи на основе тетраэтоксисилана (ТЭОС) и борной кислоты рядом водорастворимых полиолов линейного и разветвленного строения, удалось решить непростую, но крайне важную проблему увеличения толщины высоколегированных боросиликатных покрытий (состава 40B2O3·60SiO2 мас. %) без ухудшения качества их поверхности [20–22, 25].
Высокомолекулярные добавки [21, 22, 26, 29] были выбраны, исходя из их способности растворяться в водно-спиртовой среде золей и взаимодействовать с продуктами гидролиза ТЭОС, благодаря наличию в них гидроксильных OH или уретановых –NH-С– групп. Одна из таких добавок, содержащих как уретановые, так и гидроксильные группы — полигидроксилолигоуретанмочевина разветвленного строения (ПОУМ). Молекулярная масса этого олигомера составляет ~ 4200 г/моль. Кроме ПОУМ, в борсодержащие золи вводились полиэтиленгликоль (ПЭГ) линейного строения с молекулярной массой 300 г/моль, а также четырехлучевой гиперразветвленный олигомер (ГРП). ГРП, используемый нами в качестве органического модификатора золь-гель систем, представляет собой гиперразветвленный алифатический сложный полиэфирполиол. Расчетное значение средневесовой молекулярной массы равно ~ 5100 г/моль. При этом в обрамлении молекулы находится примерно 64 OH-группы. Все выбранные добавки в количестве порядка 1 мас. % вводились в золи со следующим мольным соотношением исходных компонентов: Si(OC2H5)4: H3BO3: H2O:HCl:C2H5OH:C4H9OH: C3H5(OH)3= 0.05: 0.6: 3.5: 0.03: 21: 8.4: 0.2.
Количество борной кислоты и нитрата гадолиния варьировалось и вводилось из расчета получить силикатные пленки следующих составов:
40B2O3·60SiO2 мас. %;
5Gd2O3·95SiO2 мас. %;
10Gd2O3·90SiO2 мас. %;
40B2O3·5Gd2O3·55SiO2 мас. %;
40B2O3·10Gd2O3·50SiO2 мас. %.
Формирование пленок. Из полученных золей на поверхности кремниевых пластин марки КЭФ-20, ориентированных в кристаллографической плоскости <100>, с удельным сопротивлением 20 Ом/см2, диаметром 76 мм, методом центрифугирования формировались тонкие кремнийорганические слои. Скорость вращения центрифуги составляла 2500 оборотов в минуту.
Термическую обработку кремниевых подложек с нанесенными на них пленками проводили при температуре 800 ºС в течение 15 мин. в электрической печи с кварцевым реактором (Europa 2000). Точность поддержания температуры в центральной части печи (площадка ~20 см) составляла ±0.5 ºС. Термический отжиг проводили в атмосфере кислорода, средний расход газа составлял 80–100 л/ч.
Диффузия бора и гадолиния из силикатных стекловидных пленок, содержащих эти легирующие примеси, в кремний осуществлялась при температуре 1150 ºС в атмосфере азота в течение 40 мин.
Анализ полученных результатов. С привлечением комплекса физико-химических методов исследования (вискозиметрия, оптическая и атомно-силовая микроскопия, термический и рентгенофазовый анализы, механическая динамическая спектроскопия, вторичная ионная масс-спектрометрия и др.) были впервые выявлены следующие закономерности поведения золь-гель систем на основе ТЭОС при введении в них органических и неорганических соединений, придающих полученным продуктам золь-гель синтеза технически ценные свойства.
Реологические характеристики. Используя методы вискозиметрии, впервые выявлены особенности протекания реакции гидролитической поликонденсации тетраэтоксисилана в присутствии в золе ряда неорганических и органических соединений (борная кислота, нитрат гадолиния, низко- и высокомолекулярные полиолы различной топологии и молекулярной массы) [18, 22]. На примере результатов исследования процессов структурообразования методом опускающегося шарика (по Хопплеру) в силикатных золь-гель системах, содержащих неорганические элементы бор и гадолиний (рис. 1) мы видим, что вязкость боросиликатных золей меняется скачкообразно. Самые высокие значения вязкости (η, сПз) наблюдаются у боросиликатного золя, не содержащего гадолиния. Такое поведение объясняется присутствием борной кислоты, которая легко образует связи Si–O–B, которые легко и гидролизуются, что приводит к нестабильности системы и влияет на структуру боросиликатных золей, вызывая колебания вязкости.
Рис. 1. Кривые изменения структурной вязкости (h) в процессе старения (t) для силикатных золей, содержащих в качестве неорганического компонента только Gd: а — 5 Gd2O3 мас. %; б — 10 Gd2O3 мас. %; только B: в — 40 B2O3 мас. %, а также при совместном введении B и Gd: г — 40 B2O3 + 5 Gd2O3 мас. %; д — 40 B2O3 + 10 Gd2O3 мас. %
При добавлении второго легирующего компонента гадолиния значения вязкости немного уменьшаются, но скачкообразный характер кривой сохраняется. Структурная вязкость силикатных золей, содержащих в качестве неорганического компонента только гадолиний, возрастает плавно в течение всего срока наблюдения. Введенный допант нитрат гадолиния значительно меньше, чем борная кислота, влияет на флуктуацию вязкости в золь-гель системе, что соответствует данным [16] о том, что атом большего размера в меньшей степени влияет на свойства системы, в частности, на процессы структурирования. Размер радиуса атома гадолиния существенно превышает размер радиуса атома бора (179·10–12 пм для Gd и 98·10–12 пм для B).
Все представленные золи однородные и гомогенные по составу, а нестабильное поведение вязкости их течения не является препятствием формированию однородных по структуре, без дефектов на поверхности, пленок — источников диффузии [21, 22].
Внутреннее трение. С использованием метода динамической механической спектроскопии (внутреннее трение) впервые выявлены особенности структуры стекловидных боросиликатных и гадолинийсиликатных пленок, изучены закономерности протекания химических процессов в нанофазах, существующих в нанокомпозитных пленках в результате последовательных термообработок (I-VII циклов), позволяющие дать рекомендации по составу пленок и температурно-временному режиму их обработки для максимального снижения дефектности кристаллической структуры легируемого кремния [30]. Так на примере спектрограмм силикатных пленок, полученных при их охлаждении до -50ºС и нагреве до +300 ºС (рис. 2), обнаружено образование пиков в области отрицательных температур -50÷-35 °С, по-видимому, связанных с фазовыми переходами воды и водноспиртовых растворов, капсулированных в микрообластях структурной сетки.
Рис. 2. Температурная зависимость внутреннего трения силикатных пленок, следующего состава: (а) 40 B2O3 мас. %; (б) 40 B2O3 мас. % + 1 г ПЭГ; (в) 10Gd2O3•90SiO2 мас. %; (г) 40B2O3•50SiO2•10Gd2O3 мас. %. Пленки перед испытанием термообработаны при 250 °C
Пики внутреннего трения, наблюдаемые при Т=120 ºС (рис. 2б), характерны только для гибридной пленки. Для боросиликатной немодифицированной пленки тепловые эффекты в этом температурном диапазоне отсутствуют. В то же время на спектрах пленок, полученных из золей с добавлением ГРП и ПОУМ, также проявляются подобные эффекты в температурном диапазоне 100–140 ºС. Обнаруженные эффекты видимо, связаны с природой органической добавки, с составом органической фазы, капсулированной в структуре пленки. Образование пиков ВТ в данном температурном диапазоне является результатом выгорания органических олигомеров и деструкцией макромолекул [3, 13, 14, 30].
Пики внутреннего трения, наблюдаемые при Т=60–110 ºС в силикатной пленке, содержащей гадолиний (рис. 2в) и две легирующие добавки B и Gd одновременно (рис. 2г), соответствуют, по-видимому, интенсивному удалению воды и выделению низших оксидов азота NO, входящих в состав азотнокислой соли гадолиния, используемой при приготовлении золя [22, 31].
Состояние поверхности пленок. Исходя из данных оптической микроскопии и АСМ, выявлено существенное изменение морфологии и рельефа поверхности сформированных пленок под воздействием вводимых неорганических (борная кислота и нитрат гадолиния) и малых количеств органических (полиолы различной топологии и молекулярного веса) соединений [20, 22, 25, 26].
Рис. 3. АСМ изображения специфической структуры поверхности боросиликатных пленок, образованной введением органических модифицирующих добавок ПЭГ (Б) и ПОУМ (В) в количестве ~1 мас. %; отжиг проводился при 250 ºС. На рис. (А) для сравнения приведено АСМ изображение поверхности пластины полированного монокристаллического кремния без пленки
На рис. 3 представлены АСМ снимки поверхности боросиликатных гибридных пленок, со специфической структурой, сформировавшейся в результате введения органической добавки в количестве всего ~1 мас. %. Показано, что даже небольшие добавки полиолов существенно влияют на микро- и наноструктуру формируемых пленок. В таком случае органическая добавка является структурообразующей, т. е. темплатным агентом, ответственным за формирование структуры. При этом разветвленные и гиперразветвленные молекулы, в обрамлении которых находится большое количество гидроксильных групп (ГРП, ПОУМ) являются наиболее эффективными темплатами.
Толщина пленок. Решение важной проблемы увеличения толщины формируемых пленок в 1,5–2 раза без ухудшения состояния поверхности (появления трещин, кристаллитов, увеличения шероховатости и др.) было достигнуто за счет введения в боросиликатные золи полиолов разветвленного и гиперразветвленного строения [22, 32]. При этом качество поверхности сформированных пленок соответствует требованиям планарной технологии микроэлектроники [2, 6, 23, 25, 27].
Рис. 4. Толщина боросиликатных пленок в зависимости от введенной в золь органической добавки в количестве ~ 1 мас. %: 1 — без органического модификатора; 2 — ПЭГ; 3 — ПОУМ; 4 — ГРП. Точкой обозначено среднее значение толщины сформированной пленки (d). Размер отрезка прямой (Δd) соответствует разбросу значений толщины по пластине: Δd=dmax-dmin
Диффузионные характеристики. Исходя из данных ВИМС, получены и проанализированы профили распределения легирующих примесей бора и гадолиния при их раздельной и совместной диффузии из силикатных и гибридных пленок. На основании полученных данных впервые рассчитаны коэффициенты диффузии обеих примесей, при их совместной диффузии в кремний [23, 24, 27, 28, 33, 34].
Из рис. 5 видно, что использование гибридных органо-неорганических пленок позволяет достигнуть большего значения концентрации легирующей примеси бора в кремнии, приближая, к максимально возможной [5, 11], особенно ярко эта тенденция проявляется при использовании боросиликатных пленок — источников диффузии с добавлением трехлучевого олигомера ПОУМ и черырехлучевого гиперразветвленного олигомера ГРП. Интересные результаты были получены при использовании силикатных пленок, содержащих одновременно два легирующих компонента бор и гадолиний — концентрация бора из боросиликатной пленки, содержащей 5 мас. % Gd2O3 достигает большего значения нежели из пленки, содержащей 10 мас. % Gd2O3, профиль распределения которой, в свою очередь, практически не отличается от такового для боросиликатной пленки без гадолиния. Это объясняется образованием кристаллитов гадолиния, в которых концентрируется большая часть примеси (более 5 мас. %), а ее содержание в остальном объеме стекловидной пленки уменьшается.
Рис. 5. Профили распределения концентрации бора по глубине при диффузии из пленок одинакового минерального состава 40B2O3·60SiO2 мас. %, не модифицированной органическими добавками (D2) и сформированных из золей, содержащих различные полиолы (~ 1 мас. %): ПОУМ (D4), ПЭГ (D5) и ГРП (D8) и при добавлении второго легирующего элемента Gd2O3 в количестве 5 мас. % (D13) и 10 мас. % (D15). Диффузия: Т=1150 ºС, t=40 мин, атмосфера — азот
Из рис. 5 видно, что использование гибридных органо-неорганических пленок позволяет достигнуть большего значения концентрации легирующей примеси бора в кремнии, приближая, к максимально возможной [5, 11], особенно ярко эта тенденция проявляется при использовании боросиликатных пленок — источников диффузии с добавлением трехлучевого олигомера ПОУМ и черырехлучевого гиперразветвленного олигомера ГРП. Интересные результаты были получены при использовании силикатных пленок, содержащих одновременно два легирующих компонента бор и гадолиний — концентрация бора из боросиликатной пленки, содержащей 5 мас. % Gd2O3 достигает большего значения нежели из пленки, содержащей 10 мас. % Gd2O3, профиль распределения которой, в свою очередь, практически не отличается от такового для боросиликатной пленки без гадолиния. Это объясняется образованием кристаллитов гадолиния, в которых концентрируется большая часть примеси (более 5 мас. %), а ее содержание в остальном объеме стекловидной пленки уменьшается.
Расчеты основных диффузионных параметров (начальной концентрации легирующей примеси и коэффициентов диффузии) производились двумя методами: 1) согласно представлениям о диффузии из постоянного источника; 2) согласно теории, которая позволяет учесть перераспределение легирующей примеси в оксидный слой, образующийся в процессе диффузии, для этого был составлен алгоритм программы в графической объектно-ориентированной программе Labview [23, 24, 28].
Практическое применение результатов работы.Разработана технология формирования боросиликатных гибридных и гадолинийсиликатных пленок — источников реакционной диффузии бора и гадолиния в полупроводниковый кремний. С помощью этих пленок методом высокотемпературной диффузии созданы диффузионные слои глубиной ~ 4,0±0,5 мкм с высоким содержанием бора на уровне предела его растворимости в кремнии (5–7·1020 см-3). Сформированные области легирования использованы в качестве стоп-слоев в цикле анизотропного травления тонкостенных мембран для газовых сенсоров толщиной 3,0±0,5 мкм.
Технология формирования тонкостенной кремниевой мембраны внедрена в технологический процесс производства газовых сенсоров на CO и датчиков расхода топлива [23, 27, 34].
Литература:
1. Гребенщиков И. В. Поверхностные свойства стекла. Строение стекла. Под ред. А. Б. Безбородова. М.: Госхимиздат. 1933. С. 101–116.
2. Борисенко А. И., Новиков В. В., Прихидько Н. Е., Митникова И. М., Чепик Л. Ф. Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике. Л.: Наука, 1972, 114 с.
3. Суйковская Н. В. Применение кремнеорганических соединений для получения тонких прозрачных пленок на стекле. // Химия и практическое применение кремнеорганических соединений, вып. 4. ЦБТИ, Л., 1958, с. 76.
4. З. Ю. Готра. Технология микроэлектронных устройств. Справочник. М.: Радио и связь, 1991.–528 с.
5. Новиков В. В. Теоретические основы микроэлектроники. Учебн. пособие для радиотехнич. спец. вузов. М.: Высшая школа, 1972. 352 с.
6. Бубнов Ю. З., Шилова О. А Наноразмерные стекловидные пленки многофункционального назначения в технологии изготовления полупроводниковых газовых сенсоров // Технологии приборостроения. 2003. № 3 (7). С. 60–71.
7. Шилова О. А. Наноразмерные пленки, получаемые из золей на основе тетраэтоксисилана, и их применение в планарной технологии изготовления полупроводниковых газовых сенсоров. // Физика и химия стекла. 2005. Т. 31. № 2. С. 270–294.
8. Мошников В. А., Шилова О. А. Золь-гель технология наноструктурированных материалов// Нанотехнология: физика, процессы, диагностика, приборы /под ред. Лучинина В. В., Таирова Ю. М. — М.: ФИЗМАТЛИТ, 2006. — С. 205–249.
9. Мошников В. А., Спивак Ю. М. Атомно-силовая микроскопия для нанотехнологии и диагностики.// Учеб. пособие СПб.: Изд-во СПбГЭТУ ЛЭТИ, 2009, 80 с.
10. Химические методы получения керамических и полимерных наноматериалов из жидкой фазы: Учеб. пособие. / Под общ. ред. В. В. Лучинина и О. А. Шиловой / СПбГЭТУ «ЛЭТИ». СПб., 2013. 218 с.
11. А. И. Курносов, В. В. Юдин. Технология производства полупроводниковых приборов. Учеб. пособие, М.: «Высшая школа», 1974. 368 с.
12. Мошников В. А., Таиров Ю. М., Хамова Т. В., Шилова О. А. Золь-гель технология микро- и нанокомпозитов: Учебное пособие. / Под ред. О. А. Шиловой. — СПб.: Изд. «Лань», 2013. — 304 с.: ил.
13. В. А. Свидерский, М. Г. Воронков, В. С. Клименко, С. В. Клименко. Гидролитическая поликонденсация тетраэтоксисилана с солями и оксидами металлов в золь-гель процессе. // ЖПХ. 1997. Т. 70. № 10. С. 1698–1703.
14. Shilova O. A. Synthesis and structure features of composite silicate and hybrid TEOS derived thin films doped by inorganic and organic additives. // Journal of Sol-Gel Science and Technology. 2013. V. 68. N. 3. P. 387–410.
15. Цветкова И. Н., Шилова О. А., Воронков М. Г., Гомза Ю. П., Сухой К. М. Золь-гель синтез и исследование гибридного силикофосфатного протонпроводящего материала. // Физика и химия стекла. 2008. Т. 34. № 1. С. 88–98.
16. Brinker C. J., Scherer G. W. Sol-Gel Science: the physics and chemistry of sol-gel processing. San Diego: Academic Press, Inc., 1990. 908 p.
17. Атомная диффузия в полупроводниках. / Под ред. Д. Шоу. Пер. с англ. — М.: Мир, 1975. 684 с.
18. Смирнова И. В., Мовчан Т. Г., Шилова О. А. Особенности структурирования пленкообразующих кремнезолей в присутствии борной кислоты и четырехлучевого полиола гиперразветвленного строения. // Журнал прикладной химии. 2010. Т. 83. № 12. С. 2001–2007.
19. Мовчан Т. Г., Урьев Н. Б., Потапов А. В., Ижик А. П., Писарев С. А., Хамова Т. В., Тарасюк Е. В., Шилова О.А Реология и структурирование нанодисперсных систем на основе органосиликатов. // Механика композиционных материалов и конструкций, 2004, № 2. С. 118–132.
20. Смирнова И. В., Шилова О. А., Ефименко Л. П., Пугачев К. Э., Мошников В. А., Бубнов Ю. З. Исследование морфологии поверхности наноразмерных силикатных и гибридных пленок методами оптической и атомно-силовой микроскопии. // Физика и химия стекла. 2007. Т. 33. № 4. С. 429–441.
21. Смирнова И. В., Шилова О. А., Мошников В. А. Применение наноразмерных гибридных органо-неорганических пленок в качестве источников высокотемпературной диффузии бора в монокристаллический кремний. // Известия СПбГЭТУ «ЛЭТИ». 2004. Вып. 2. с. 3–9.
22. Смирнова И. В. Разработка гадолиний- и боросиликатных наноразмерных пленок, формируемых методом золь-гель технологии. // Автореф. дисс. канд. хим. наук СПб., 2007. 1 п.л.
23. Смирнова И. В., Шилова О. А., Бубнов Ю. З. Исследование параметров слоев, полученных диффузией бора и гадолиния из силикатных и гибридных пленок в кремниевые пластины. // Физика и химия стекла. 2009. Т. 35. № 1. С. 127–139.
24. Смирнова И. В., Шилова О. А., Мошников В. А., Гамарц А. Е. Особенности совместной диффузии бора и гадолиния в кремний из наноразмерных гибридных органо-неорганических пленок. // Физика и техника полупроводников. 2009. Т. 43. Вып. 10. С. 1434–1439.
25. И. В. Смирнова. Формирование наноразмерных гибридных органо-неорганических пленок для применения в качестве источников диффузии бора в монокристаллический кремний. // Вестник молодых ученых. 2003. № 8. (Серия: Неорганическая химия и материалы. 2003. № 1). С. 38–43.
26. Смирнова И. В., Шилова О. А., Мошников В. А., Панов М. Ф., Шевченко В. В., Клименко Н. С. Исследование физико-химических свойств, структуры и состава наноразмерных боросиликатных пленок, полученных золь-гель методом. // Физика и химия стекла. 2006. Т. 32. № 4. С. 632–646.
27. Смирнова И. В., Шилова О. А., Жабрев В. А., Бубнов Ю. З. Совершенствование процесса диффузии бора и гадолиния в кремний из наноразмерных гибридных органо-неорганических пленок. // Высокие технологии в промышленности России. Труды XII Международной научно-технической конференции. ОАО ЦНИИ «ТЕХНОМАШ», Москва, 2006, с. 64–68.
28. Александров О. В., Высоцкая С. А., Смирнова И. В., Шилова О. А. Влияние германия и гадолиния на диффузию бора в кремний из примесно-силикатного источника. // Материалы электронной техники. 2008. № 1. С. 22–26.
29. Шилова О. А., Тарасюк Е. В., Шевченко В. В., Клименко Н. С., Мовчан Т. Г., Хашковский С. В., Шилов В. В. Влияние гидроксилсодержащих низко- и высокомолекулярных добавок на устойчивость золь-гель систем на основе тетраэтоксисилана и структуру получаемых гибридных органо-неорганических покрытий.// Физика и химия стекла. 2003. Т. 29. № 4. С. 527–541.
30. Смирнова И. В., Мошников В. А., Шилова О. А., Ярославцев Н. П., Ильин А. С. Исследование методом внутреннего трения состава и структуры стекловидных боросиликатных пленок, полученных из золей. // Нано- и микросистемная техника. 2005. № 7. С. 28–31.
31. К. И. Портной, Н. И. Тимофеева. Кислородные соединения редкоземельных элементов. Справ. изд. — М.: Металлургия, 1986. 480 с.
32. Шилова О. А. Силикатные и гибридные нанокомпозиционные материалы, формируемые методом золь-гель технологии. Дис. докт. хим. наук. СПб. 2005. 342 с.
33. Филиппов А. Ф. Введение в теорию дифференциальных уравнений. СПб.: КомКнига, 2007. 240 с.
34. Петрова И. В.,Коваленко Д. Л., Шилова О. А., Бубнов Ю. З. Разработка золь-гель технологии получения тонких наноструктурированных пленок для металлооксидных газовых сенсоров. // Перспективные материалы. 2011. Спец. выпуск: Функциональные наноматериалы и высокочистые вещества, № 11. С. 342–349.
[1] Работа выполнена при финансовой поддержке Программы отделения химии и наук о материалах РАН (ОХНМ РАН).
