№46 (545) ноябрь 2024 г.
Авторы:
Редозубов Илья Николаевич,
Бастраков Александр Владиславович (научный руководитель)
Рубрика: Технические науки
Страницы: 28-33
Библиографическое описание: Редозубов, И. Н. Оптимизация технологического процесса вакуумного напыления тонких пленок методом магнетронного распыления / И. Н. Редозубов. — Текст : непосредственный // Молодой ученый. — 2024. — № 46 (545). — С. 28-33. — URL: https://moluch.ru/archive/545/119161/ (дата обращения: 31.01.2025).
Объем: 0,45 а.л.
Статус: Опубликована
