Библиографическое описание: Клюева, В. А. Обзор методов нанесения кремниевых покрытий / В. А. Клюева. — Текст : непосредственный // Молодой ученый. — 2016. — № 10 (114). — С. 236-246. — URL: https://moluch.ru/archive/114/29671/ (дата обращения: 25.04.2024).
