Абрамов Александр Владимирович — Информация об авторе

Отправьте статью сегодня! Журнал выйдет 9 ноября, печатный экземпляр отправим 13 ноября.

Опубликовать статью в журнале
Воронежский государственный технический университет, кандидат технических наук, доцент
Журнал «Молодой ученый»:

Эффект полировки кремниевых пластин в локализованном газовом разряде

№47 (494) ноябрь 2023 г.

Авторы: Абрамов Александр Владимирович, Панкратова Елена Александровна, Нгуен Ван Тке

Рубрика: Физика

Страницы: 12-15

Библиографическое описание: Абрамов, А. В. Эффект полировки кремниевых пластин в локализованном газовом разряде / А. В. Абрамов, Е. А. Панкратова, Ван Тке Нгуен. — Текст : непосредственный // Молодой ученый. — 2023. — № 47 (494). — С. 12-15. — URL: https://moluch.ru/archive/494/107965/ (дата обращения: 01.11.2024).

Объем: 0,27 а.л.

Статус: Опубликована

Текст статьи

Задать вопрос