Библиографическое описание: Алиева, Ж. Р. О диффузионных параметрах примесных атомов V группы элементов в кремнии / Ж. Р. Алиева, М. А. Абдукаххарова, Н. Б. Аббосова, М. З. Насиров. — Текст : непосредственный // Молодой ученый. — 2018. — № 51 (237). — С. 1-3. — URL: https://moluch.ru/archive/237/55021/ (дата обращения: 17.12.2024).
