Журнал «Молодой ученый»:

Изучение процесса локального зондового окисления тонких пленок титана

№9 (44) сентябрь 2012 г.

Авторы: Максимов Александр Иванович, Старцева Арина Валерьевна

Рубрика: Физика

Страницы: 12-17

Библиографическое описание: Старцева А. В., Максимов А. И. Изучение процесса локального зондового окисления тонких пленок титана // Молодой ученый. — 2012. — №9. — С. 12-17.

Объем: 0,45 а.л.

Статус: Опубликована

Текст статьи