Журнал «Молодой ученый»:

Исследование механических напряжений в микромеханических мембранах на основе плёнок карбида кремния, полученных магнетронным методом

№16 (120) август-2 2016 г.

Авторы: Михайлова Ольга Николаевна, Брюхович Сергей Сергеевич

Рубрика: Технические науки

Страницы: 73-76

Библиографическое описание: Брюхович С. С., Михайлова О. Н. Исследование механических напряжений в микромеханических мембранах на основе плёнок карбида кремния, полученных магнетронным методом // Молодой ученый. — 2016. — №16. — С. 73-76.

Объем: 0,23 а.л.

Статус: Опубликована

Текст статьи