Журнал «Молодой ученый»:

Изменение структуры и состава нитридного слоя при оксидировании парами воды

№14 (118) июль-2 2016 г.

Авторы: Бердиев Ш. А., Эшкабилов Х. К.

Рубрика: Технические науки

Страницы: 204-207

Библиографическое описание: Эшкабилов Х. К., Бердиев Ш. А. Изменение структуры и состава нитридного слоя при оксидировании парами воды // Молодой ученый. — 2016. — №14. — С. 204-207.

Объем: 0,27 а.л.

Статус: Опубликована

Текст статьи