Журнал «Молодой ученый»:

Обзор методов нанесения кремниевых покрытий

№10 (114) май-2 2016 г.

Авторы: Клюева Виктория Андреевна

Рубрика: Технические науки

Страницы: 236-246

Библиографическое описание: Клюева В. А. Обзор методов нанесения кремниевых покрытий // Молодой ученый. — 2016. — №10. — С. 236-246.

Объем: 0,77 а.л.

Статус: Опубликована

Текст статьи