кандидат технических наук, доцент
Журнал «Молодой ученый»:

Синергетический подход к проблеме окисления кремния

№9 (89) май-1 2015 г.

Авторы: Соловьев Виталий Анатольевич, Михайлов Андрей Александрович

Рубрика: Технические науки

Страницы: 278-282

Библиографическое описание: Михайлов А. А., Соловьев В. А. Синергетический подход к проблеме окисления кремния // Молодой ученый. — 2015. — №9. — С. 278-282.

Объем: 0,32 а.л.

Статус: Опубликована

Текст статьи

Разработка автоматизированной установки для термического окисления пластин кремния

№9 (89) май-1 2015 г.

Авторы: Соловьев Виталий Анатольевич, Михайлов Андрей Александрович

Рубрика: Технические науки

Страницы:

Библиографическое описание: Михайлов А. А., Соловьев В. А. Разработка автоматизированной установки для термического окисления пластин кремния // Молодой ученый. — 2015. — №9.

Объем: 0,23 а.л.

Статус: На рецензировании

Текст статьи