Журнал «Молодой ученый»:

Разработка лабораторного оборудования для получения и исследования материалов микро- и наноэлектроники

№6 (65) май-1 2014 г.

Авторы: Шикин Максим Юрьевич, Ракша Сергей Владимирович, Кондрашин Владислав Игоревич

Рубрика: Технические науки

Страницы: 169-173

Библиографическое описание: Кондрашин В. И., Ракша С. В., Шикин М. Ю. Разработка лабораторного оборудования для получения и исследования материалов микро- и наноэлектроники // Молодой ученый. — 2014. — №6. — С. 169-173.

Объем: 0,27 а.л.

Статус: Опубликована

Текст статьи